厦门路维光电掩膜版项目首批核心工艺设备正式搬入

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厦门路维光电掩膜版项目首批核心工艺设备正式搬入人民财讯4月23日电，4月23日，厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基地迎来首批核心工艺设备正式搬入，该项目正式从“工程建设阶段”转入“工艺设备安装调试阶段”，向着2026年年中试产目标迈出坚实一步。该项目计划总投资20亿元，建设11条高端光掩膜版生产线，其中前期率先建设5条产线，主要生产8.6代及以下高精度掩膜版，应用于a-Si、LTPS、AMOLED、LTPO、Micro-LED等平板显示产品。

关键词： 掩膜版 工艺设备 高精度 搬入 路维