至纯科技： 公司与国内半导体下游逻辑领域头部客户均有系统集成及制程设备相关的业务合作

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至纯科技(603690)09月08日在投资者关系平台上答复了投资者关心的问题。

投资者：公司一直在湿法设备上稳扎稳打，有没有规划拓展干法刻蚀设备业务？

至纯科技董秘：您好，公司目前主要为下游客户提供半导体制程设备（湿法清洗设备、光伏制绒设备、炉管、涂胶显影）、系统集成及支持设备，并提前布局材料和服务业务（部件清洗、晶圆再生、精密制造），暂无其他规划。

投资者：贵公司建有大宗气站且已经持续稳定供应1.5年，请问贵公司的大宗气体应用于半导体制造的哪个环节？在半导体制造中所用到的电子特气和贵公司的大宗气体是否属于同一概念或同类型气体？

至纯科技董秘：您好，大宗气体是用空分装置将空气中的氮气、氢气、氧气、氩气、氟化氢等提取出来，通过高纯工艺系统处理后进入晶圆制造产线，是晶圆厂生产制造全过程均需使用到的介质，电子特气种类相对更多，具有特殊的化学性质如腐蚀性等，也是半导体领域生产中必不可少的介质。

投资者：董秘，您好。能否简单描述下贵司与华为、海思等公司合作的项目类型？

至纯科技董秘：您好，公司与国内半导体下游逻辑领域头部客户均有系统集成及制程设备相关的业务合作。

投资者：董秘，您好。请问贵司是否有符合7nm芯片制造流程中的设备？它的特点是什么？是否匹配了国产芯片研制技术？

至纯科技董秘：您好，公司半导体制程设备跟动客户研发，可满足客户不同工艺工序段的需求，可实现完全国产替代。

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